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技术参数
样品腔尺寸 | 直径300mm x高度130mm |
低真空度 | 极限真空度：＜0.1Pa，工作真空度：0-10Pa |
高真空度 | 极限真空度：＜10-3Pa，工作真空度：0.1-2Pa |
靶材尺寸 | 规格：直径57mm x 0.1mm厚，数量：2个 |
样品台转速 | 4-20rmp |
抽速 | 66L/min |
溅射电流 | 1-500mA，连续可调 |
溅射时间 | 1-999s，连续可调 |
保护气 | 氩气 |
操作方式 | 全自动，手动 |
电源 | 220V，50Hz，800w |
机箱尺寸 | 长宽高45*40*50cm |
样品腔尺寸：大样品仓设计，适合8英或140×140寸及以下方形样品；
样品腔真空度：高低两种真空度配置可选，恒压控制；
样品台：样品台旋转设计，可以装载多种样品，高度可调范围为40mm；
靶材：多种靶材可选，常用有：碳靶材，金靶材和铂金靶材可选；
溅射电流：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流500mA，程序化数字控制；
溅射头：双磁控溅射靶头设计，工作效率高，样品适用性好，无热损伤；
真空计：皮拉尼真空计，全量程复合真空规，可选；
真空泵：双级直连式高速真空泵，干泵+涡轮分子泵，可选；
厚度监控：使用高分辨厚度监控仪，精确测定所镀膜的厚度；（选配）
操作方式：触摸屏操作，自动流程，一键控制，操作简便；
机箱设计：坚固防腐蚀的箱体，带有电源、电压、电流、真空度等显示。
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